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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品時(shí)間:2024-07-11

簡(jiǎn)要描述:

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數據,適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠實(shí)現納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。

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納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量系統基于白光干涉儀原理、結合Z向精密壓電掃描模塊和三維重建算法準確獲 得各種精密器件和材料表面形貌數據,適用于反 射率0.05%-100%、超光滑至粗糙等多種表面測量求,能夠實(shí)現納米級精度測量、重構表面形 貌3D輪廓。



納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量


技術(shù)參數

型號:PZ-Mico D

測試技術(shù): 3D相干掃描干涉法,抗震算法,移相干涉法

光源:固態(tài)白光光源,軟件控制切換光譜(VSIPSI

掃描裝置:精密壓電陶瓷驅動(dòng),閉環(huán)反饋電容控制精密壓電陶瓷

像素分辨率:1280X1024

視場(chǎng):  10倍范圍1200X950

縱向掃描范圍:25mm

橫向分辨率:0.05-2.68µm

軸向分辨率:VSI0.5nmPSI0.1nm

臺階高度精度(示值誤差)±0.1nm5µm標準臺階)

臺階高度重復性:0 . 11σ(5µm標準臺階

粗糙度 RMS 2

粗糙度RMS重復性:0.01nm

被測樣品反射率:0.05%-100%

Z軸:電動(dòng)Z平臺100mm,1μm分辨率)

位移臺:電控平臺移動(dòng)范圍XY:100x100mm


納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

納米白光干涉儀 表面細微三維形貌測量

產(chǎn)品細節

應用范圍


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